序號

原條款參數(shù)要求

修改后參數(shù)要求

1

※1.2 力學性質(zhì)測量模式：

橫向力/摩擦力顯微鏡；

動態(tài)和靜態(tài)力曲線測試；

納米壓痕/納米力學映射模式；

磁場力顯微技術；靜電力顯微技術；

高次諧波成像模式；分子力力譜模式；

納米刻蝕與納米操縱；

※1.2 力學性質(zhì)測量模式：

橫向力/摩擦力顯微鏡；

動態(tài)和靜態(tài)力曲線測試；

納米壓痕/納米力學映射模式；

磁場力顯微技術；

靜電力顯微技術；

分子力力譜模式；

納米刻蝕與納米操縱；

2

▲2.高級成像模式：系統(tǒng)應具備高次諧波成像或雙頻共振追蹤等高級多頻激勵模式， 用于增強材料納米力學或壓電性能的表征能力。

▲2.高級成像模式：系統(tǒng)應具備高級多頻激勵模式，用于增強材料納米力學或壓電性能的表征能力(提供高級多頻激勵模式的證明材料)。

3

▲3.樣品臺與穩(wěn)定性：樣品臺可容納直徑≥**mm，高度≥**mm 的樣品，并配備馬達驅(qū)動的大范圍位移臺（行程≥**mm）。系統(tǒng)熱漂移速率應低于 0.** nm/sec。2 μm 的掃描范圍內(nèi)，能夠以不低于 **Hz 的掃描頻率獲得清晰、無失真的圖像。

3.樣品臺與穩(wěn)定性：樣品臺可容納直徑≥**mm，高度≥**mm 的樣品，并配備大范圍位移臺（行程≥5mm）。

4

▲4.掃描器范圍: 采用閉環(huán)控制掃描器，XY 掃描范圍≥**0 μm，Z 軸范圍≥** μm。

▲4.掃描器范圍: 采用閉環(huán)控制掃描器，XY 掃描范圍≥**0 μm，Z 軸范圍≥** μm。

5

▲5.掃描器噪音與精度：Z 軸閉環(huán)傳感器噪音低于 0.** nm (RMS)，X、Y 軸閉環(huán)傳感 器噪音低于 0.** nm (RMS)。需具備優(yōu)異的線性度，以保障成像的幾何保真度。掃描器質(zhì)保期不低于 5 年。

刪除

6

▲6.大范圍掃描穩(wěn)定性：掃描器須具備“Z 軸限位”或類似功能，實現(xiàn)對超出測量范圍的深坑或是邊緣位置的穩(wěn)定成像。Auto Z Range: 通過預掃描獲得的樣品粗糙度，來自動設定 Z 軸動作范圍， 自動實現(xiàn)小粗糙度樣品的精細測量或大粗糙度樣品的穩(wěn)定測量。

6. 系統(tǒng)支持實現(xiàn)對超出測量范圍的深坑或邊緣位置的穩(wěn)定成像；支持通過預掃描獲得的樣品粗糙度，來設定 Z 軸動作范圍，實現(xiàn)小粗糙度樣品的精細測量或大粗糙度樣品的穩(wěn)定測量。

7

▲8.激光光源：采用低噪音、低相干性 SLD 激光器，波長 **0nm，功率≥**0μW 及配套 適配器； (提供證明材料）

▲8.激光光源：采用低噪音、低相干性激光器，波長 ≥**0nm，功率≥**0μW； (提供證明材料）

8

9.檢測系統(tǒng)：直流激光探測器本底噪音低于0.** nm (Adev, 0.1Hz-1kHz 帶寬)，確保對微小懸臂偏轉(zhuǎn)的高靈敏度探測。

9.檢測系統(tǒng)：直流激光探測器本底噪音低于0.**nm，確保對微小懸臂偏轉(zhuǎn)的高靈敏度探測。

9

**.掃描隧道顯微鏡功能：能夠通過掃描隧道電流的檢測和反饋得到高分辨的原子或分 子像。隧道電流增益≥1x** ⁹ V/A，電流檢測范圍至少覆蓋 1 pA-** nA。

▲**.掃描隧道顯微鏡功能：能夠通過掃描隧道電流的檢測和反饋得到高分辨的原子或分子像。隧道電流增益≥1x** ⁹ V/A，電流檢測范圍至少覆蓋 1 pA-** nA。

**

▲**.光學觀察系統(tǒng)：連續(xù)可變倍率光學顯微鏡，視野范圍 1.8 mm×1.** mm-0.** mm× 0.2 mm；光學系統(tǒng)：CMOS 像素點≥**0 萬，光學分辨率≤2 μm。視野亮度由軟件控制。光學系統(tǒng)噪音<5 pm(Adev,1 Hz 到 1 KHz 測試帶寬)。

刪除

**

**.系統(tǒng)自檢功能：掃描器性能自檢，通訊自檢，電源自檢，信號發(fā)生自檢；系統(tǒng)高度噪音<**pm（Adev,1Hz 到 1KHz 帶寬）。

**.系統(tǒng)自檢功能：掃描器性能自檢，通訊自檢，電源自檢，信號發(fā)生自檢；系統(tǒng)高度噪音<**pm。

**

▲**. 最 高 像 素 采 集 ： ≥****0 點 ； 系 統(tǒng) 光 學 分 辨 率 小 于 1 μm ， 視 場 范 圍： **0 μm×**0 μm。

▲**. 最 高 像 素 采 集 ： ≥****0 點 ； 系 統(tǒng) 光 學 分 辨 率 小 于 2 μm 。

**

▲**.預裝 Pre-Mount 探針支架：通過磁力吸附結(jié)構(gòu)使用預裝探針。

刪除

**

**.智能探針識別與校準：系統(tǒng)能自動識別探針類型，并一鍵完成懸臂彈性常數(shù)和光學靈敏度的校準。全自動激光對準系統(tǒng)：軟件控制，自動完成激光點-探針位置調(diào)節(jié)和光電二極管檢測器自動歸零及信號優(yōu)化。

**. 智能探針識別與校準：系統(tǒng)能自動識別探針，并一鍵完成懸臂彈性常數(shù)和光學靈敏度的校準?？赏ㄟ^軟件控制激光點-探針位置調(diào)節(jié)、光電二極管檢測器自動歸零及信號優(yōu)化。

**.控制器：至少三個全數(shù)字雙頻鎖相放大器。其中2個為工作在** MHz的雙頻率數(shù)字積分鎖相放大器；1個為工作在5 MHz的雙頻率數(shù)字積分鎖相放大器。兩個輸出頻率在** MHz的雙頻率頻率合成器，頻率范圍從直流到最大** MHz（9 mHz步長）。一個輸出頻率在** MHz的雙頻率頻率合成器，頻率范圍從直流到最大2 MHz（2 mHz步長）。數(shù)字調(diào)Q范圍：2 KHz-** MHz。內(nèi)置鎖相放大器，單通道圖像采集像素不低于****×****。

**. 控制器：至少三個全數(shù)字鎖相放大器，數(shù)字調(diào)Q范圍不小于：2KHz-5MHz。

**

▲**.電流特性測量附件：掃描擴散電阻顯微鏡 SSRM，電流測量范圍至少覆蓋 **pA-0.1 mA。

刪除

**

▲**.機械性能測量附件 :粘彈性原子力顯微鏡 VE-AFM ，切向調(diào)制原子力顯微鏡 LM-FFM，粘著力顯微鏡 Adhesion。

▲**.機械性能測量附件:粘彈性原子力顯微鏡，切向調(diào)制原子力顯微鏡，粘著力顯微鏡。

**

▲**.樣品環(huán)境控制：配備加熱樣品臺，加熱溫度范圍室溫至 **0℃, 控溫精度優(yōu)于 ± 1℃，具備防熱漂移設計。具備液相測量功能，包括液相 DFM 探針支架及液相池。

**.樣品環(huán)境控制：配備加熱樣品臺，加熱溫度范圍室溫至 **0℃, 控溫精度優(yōu)于± 1℃，具備防熱漂移設計。具備液相測量功能，包括液相探針支架及液相池。

**

※**.操作軟件: 軟件需支持多區(qū)域自動序列測量、自適應掃描等智能功能。并具備智 能探針參數(shù)校準功能。操作導航、RealTune II 自動判定測量參數(shù)、Recipe 菜單化測量功能、實時放大，移動測量位置。

※**.操作軟件: 軟件需支持多區(qū)域自動序列測量、自適應掃描等智能功能。并具備智 能探針參數(shù)校準功能。操作導航、自動判定測量參數(shù)、菜單化測量功能、實時放大，移動測量位置。

**

※**.分析軟件:軟件內(nèi)置無需二次編程的高級分析工具包，例如納米力學定量分析、 電學特性分析、三維圖像顯示、線粗糙度分析、剖面分析、Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter 圖形處理功能、離線分析軟件；軟件架構(gòu)應開放，支持用戶腳本編程 或提供API接口，便于自定義測量流程和二次開發(fā)。軟件支持自動進針進行智能掃描功能； 掃描過程中能實時輸出樣品的三維圖，操作軟件須為開源免費的，可進行二次開發(fā)。 數(shù)據(jù)處理器：需科研與教學過程中對高效運算、數(shù)據(jù)分析和建模仿真的需求，具備穩(wěn)定的多任務處理能力，能夠流暢運行各類專業(yè)軟件及辦公系統(tǒng)。其圖形處理性能優(yōu)良，可支持三維設計、圖像渲染及多媒體展示。存儲與數(shù)據(jù)管理能力突出，能夠保障大規(guī)?？蒲袛?shù)據(jù)及教學資源的安全、高效使用，整體性能完全符合科研與教學工作要求。

**.分析軟件:軟件內(nèi)置無需二次編程的高級分析工具包，例如納米力學定量分析、 電學特性分析、三維圖像顯示、線粗糙度分析、剖面分析、Tilt/Flat/Edit/Clip/Mask/Local Filter/FFT Filter 圖形處理功能、離線分析軟件；軟件架構(gòu)應開放，支持用戶腳本編程 或提供API接口，便于自定義測量流程和二次開發(fā)。軟件支持自動進針進行智能掃描功能；掃描過程中能實時輸出樣品的三維圖，分析軟件須為開源免費的，可進行二次開發(fā)。 數(shù)據(jù)處理器：需科研與教學過程中對高效運算、數(shù)據(jù)分析和建模仿真的需求，具備穩(wěn)定的多任務處理能力，能夠流暢運行各類專業(yè)軟件及辦公系統(tǒng)。其圖形處理性能優(yōu)良，可支持三維設計、圖像渲染及多媒體展示。存儲與數(shù)據(jù)管理能力突出，能夠保障大規(guī)模科研數(shù)據(jù)及教學資源的安全、高效使用，整體性能完全符合科研與教學工作要求。

序號

原條款參數(shù)要求

修改后參數(shù)要求

1

6.高速控制器 2 套

6.高速控制器 1 套

2

**.操作軟件 2 套

**.操作軟件 1 套

序號

原條款參數(shù)要求

修改后參數(shù)要求

1

1.起評分：

有效投標人的起評分為 ** 分。

2.扣分條款：

2.1 投標文件投標應答有一條不滿足招標文件重要技術需求的（本招標文件第二篇（一）技術參數(shù)中帶“▲”號標注的部分，共** 條），從起評分中扣除 3 分，扣完為止。

2.2 投標文件投標應答有一條不滿足招標文件一般性技術需求的（本招標文件第二篇（一）技術參數(shù)中“▲”和“※”號標注的部分除外，共 7 條），從起評分中扣除 2 分，扣完為止。

1.起評分：

有效投標人的起評分為 ** 分。

2.扣分條款：

2.1 投標文件投標應答有一條不滿足招標文件重要技術需求的（本招標文件第二篇（一）技術參數(shù)中帶“▲”號標注的部分，共 6 條），從起評分中扣除 5 分，扣完為止。

2.2 投標文件投標應答有一條不滿足招標文件一般性技術需求的（本招標文件第二篇（一）技術參數(shù)中“▲”和“※”號標注的部分除外，共 ** 條），從起評分中扣除 2 分，扣完為止。