項(xiàng)目名稱：沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)新材料裝備與綠色智造實(shí)驗(yàn)中心設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目（1）
★一、X光電子能譜儀（XPS）的配置組成：（此項(xiàng)以供應(yīng)商響應(yīng)為準(zhǔn)，無(wú)需提供證明材料）：
| 序號(hào) | 設(shè)備名稱 | 數(shù)量 |
| （一） | X射線光電子能譜儀主機(jī) | 1臺(tái) |
| （二） | 液相樣品檢測(cè)單元 | 1臺(tái) |
| （三） | 電化學(xué)分析單元 | 1臺(tái) |
| （四） | 能譜儀及電子背散射衍射儀 | 1套 |
| （五） | 其它配套要求 | / |
（一）X射線光電子能譜儀主機(jī)
1.單色化X光源
1.1.1Al Kα單色化X射線源：至少可換8個(gè)新鮮點(diǎn)，軟件控制自動(dòng)換點(diǎn)并調(diào)整校準(zhǔn)；
1.1.2高能單色化X射線源：X射線光子能量不低于2,**0eV，至少可換4個(gè)新鮮點(diǎn)，軟件控制自動(dòng)換點(diǎn)并調(diào)整校準(zhǔn)；
★1.1.3功率：最大功率不低于**5W。加速電壓**kV，在任意分析束斑下均可實(shí)現(xiàn)發(fā)射電流0～**mA可調(diào)，以獲得不同的功率。最大功率和最大束斑下，單位面積上的X射線激發(fā)功率不大于0.4mW/μm 2 ，防止對(duì)陽(yáng)極靶和有機(jī)高分子材料樣品造成損傷（注明投標(biāo)儀器的最大功率和最大束斑的形狀與大小，并計(jì)算給出單位面積上的X射線激發(fā)功率）。
1.1.4單色器：水冷大背板石英晶體單色器，確保分光晶體的晶格常數(shù)不隨環(huán)境溫度發(fā)生變化；羅蘭圓直徑不小于**0mm；
1.1.5分析束斑：不低于5檔，包括大束斑（不小于Φ**0μm）、較大束斑（Φ**0~**0μm）、中等束斑（Φ**~**μm）、較小束斑（約Φ**μm）、小束斑（Φ**~**μm），適應(yīng)不同分析需求，在任意分析束斑下均可實(shí)現(xiàn)最大功率采譜以獲得最佳的分析靈敏度；
1.2.Al單色X射線源XPS指標(biāo)（Ag 3d 5/2 峰半高全寬@強(qiáng)度，非掃描束斑）
▲1.2.1大束斑能量分辨和靈敏度：0.**eV@**0kcps、0.5eV@**0kcps、0.6eV@2.0Mcps，注明束斑大??；
1.2.2較大束斑（Φ**0～**0μm）最佳能量分辨和靈敏度：0.5eV@**0kcps、0.6eV@**0kcps，注明束斑大?。恢械仁撸é?*～**μm）最佳能量分辨和靈敏度：0.5eV@**kcps、0.6eV@**5kcps，注明束斑大??；最小束斑（Φ**～**μm）最佳能量分辨和靈敏度：0.5eV@1.5kcps、0.6eV@6kcps，注明束斑大小；
1.3.單色化高能XPS指標(biāo)（Ag 3d 5/2 峰半高全寬@強(qiáng)度）
1.3.1大束斑能量分辨不低于0.9eV，大束斑靈敏度不低于6kcps；
1.4.化學(xué)狀態(tài)平行成像XPS
1.4.1成像模式：固定分析器傳輸（FAT）或恒定分析器能量（CAE）模式的化學(xué)狀態(tài)成像，不使用固定阻滯率（FRR）或恒定阻滯率（CRR）模式，防止化學(xué)狀態(tài)信息丟失；
1.4.2平行成像XPS空間分辨：銳利刀口樣品，線掃描強(qiáng)度**%～**%的寬度≤1μm；
1.4.3平行成像XPS視場(chǎng)大?。喊ú⒉幌抻?*0×**0μm 2 、**0×**0μm 2 、**0×**0μm 2 、**×**μm 2 ，可實(shí)現(xiàn)**×**的大面積自動(dòng)拼接成像；
1.5.靜電傳輸透鏡
1.5.1類型和操作模式：多組元減速場(chǎng)（采譜）和放映透鏡（成像）；
1.5.2能量掃描范圍：0～****eV（XPS）/0～**eV（UPS）；
1.5.3最小掃描能量步長(zhǎng)：小于4meV（XPS）/小于1.5meV（UPS），需提供軟件截屏；
1.6.荷電中和器
1.6.1類型：與靜電傳輸透鏡同軸的超低能單電子源，不可使用離軸準(zhǔn)直的電子源和離子源，避免離軸準(zhǔn)直的電子源和離子源對(duì)粉末樣品表面進(jìn)行荷電中和時(shí)產(chǎn)生荷電陰影而不能實(shí)現(xiàn)良好的荷電中和，同時(shí)確?？煞乐闺x子源造成表面元素的化學(xué)狀態(tài)還原，亦應(yīng)確保在分析室中實(shí)施絕緣體分析時(shí)不使用進(jìn)樣室渦輪分子泵差分抽氣，可以在進(jìn)樣室中裝入樣品以提高樣品吞吐量；
1.6.2中和電子能量：不大于5eV，需提供軟件截屏；
▲1.6.3絕緣體分析能力（PET，O-C=O的C 1s峰半高全寬@C-C/C-H的C 1s峰強(qiáng)度）：0.**eV@**kcps、0.**eV@**kcps；
1.7.電子能量分析器
1.7.1電子能譜能量分析器
1.7.1.1類型：**0°半球扇形分析器；
▲1.7.1.2平均半徑：不小于**0mm；
1.7.1.3通過(guò)能（FAT/CAE模式）：1～**0eV可調(diào)，注明測(cè)試時(shí)實(shí)際使用的通過(guò)能設(shè)置值。通過(guò)能的設(shè)置值應(yīng)保證能用于實(shí)際測(cè)試，滿足電子能譜的不同能量分辨率和靈敏度的需要。對(duì)于每一個(gè)用于實(shí)際測(cè)試的通過(guò)能設(shè)置值，均應(yīng)精確校準(zhǔn)譜儀傳輸函數(shù)，確保在這些通過(guò)能設(shè)置值下實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的XPS定量分析；
1.7.2平行成像電子能量分析器
1.7.2.1類型：**0°半球球鏡分析器，獨(dú)立于電子能譜能量分析器的第二能量分析器；
1.7.2.2平均半徑：不小于**0mm；
1.7.2.3通過(guò)能（FAT/CAE模式）：可滿足XPS平行成像的不同能量能量分辨和靈敏度的需要，確保能夠區(qū)分同一元素的不同化學(xué)狀態(tài)，不可使用FRR/CRR模式，防止傅立葉變換帶來(lái)的能量分辨的變化和化學(xué)狀態(tài)信息的丟失；
1.8.檢測(cè)器
▲1.8.1類型：?jiǎn)我坏亩S陣列檢測(cè)器，不少于**8個(gè)物理通道，包含置于真空中的雙層不少于**8個(gè)陽(yáng)極、前置放大器及計(jì)數(shù)器，確保可同時(shí)記錄光電子發(fā)射位置及其強(qiáng)度，可滿足XPS采譜和成像XPS、微區(qū)XPS、深度剖析XPS、動(dòng)態(tài)XPS工作需要；
1.8.2工作模式：XPS模式下可實(shí)現(xiàn)“掃描”以及“拍照”等工作模式，以滿足動(dòng)態(tài)表面X射線光電子能譜分析的需求；
1.9.深度剖析離子槍
▲1.9.1離子源類型：聚焦可掃描離子源，單個(gè)Ar原子和團(tuán)簇Ar雙模式；
1.9.2可使用氣體：Ar/Ar團(tuán)簇（XPS深度剖析）/He（離子散射譜，ISS）
1.9.3單Ar離子能量：**0eV～5keV可調(diào)；
1.9.4單Ar離子最小束斑：～**0μm （5keV）；
▲1.9.5團(tuán)簇Ar離子能量：最高離子能量不低于**keV，可調(diào)；
1.9.6團(tuán)簇Ar離子團(tuán)簇：最大團(tuán)簇不小于2,**0Ar，可調(diào)；
1.9.7氣體控制：軟件控制，配套高精度進(jìn)氣閥門和差分真空抽氣系統(tǒng)。
1.**.分析室樣品控制、觀察和調(diào)整
1.**.1軸向：5軸樣品臺(tái)，即X、Y、Z移動(dòng)，繞軸和繞樣品面法線轉(zhuǎn)動(dòng)；
1.**.2移動(dòng)：X方向不小于**mm，Y方向不小于**mm，Z方向不小于**mm；
1.**.3繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)：±**°；
1.**.4繞樣品法線轉(zhuǎn)動(dòng)：±**0°
▲1.**.5最大可分析面積：不小于2,**0mm 2 ，注明實(shí)際樣品條（托）尺寸；
▲1.**.6控制：軟件操控樣品臺(tái)，記憶和恢復(fù)分析位置以實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守的自動(dòng)分析；
1.**.7觀察：軟件控制變焦CCD攝像機(jī)在不同的放大倍率下實(shí)時(shí)觀察、精確定位分析位置和截取圖像；
1.**.8調(diào)整：通過(guò)可變焦CCD攝像機(jī)和實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)確定分析位置，并可軟件自動(dòng)確定最佳的分析高度；
1.**. 智能化操作系統(tǒng)
▲1.**.1譜儀控制：全計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制；Windows操作系統(tǒng)下全計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制；
▲1.**.2進(jìn)樣室的多樣品停放臺(tái)：可一次裝入并存儲(chǔ)3個(gè)樣品條（托），每一樣品條（托）的可分析面積不小于****mm 2 ，其上可安置多個(gè)樣品，可軟件控制實(shí)現(xiàn)自動(dòng)進(jìn)樣；
1.**.3進(jìn)樣方式：軟件控制全自動(dòng)進(jìn)樣，多樣品停放臺(tái)上的多個(gè)條型樣品盤之間可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制及無(wú)人值守的全自動(dòng)交換分析，無(wú)需手動(dòng)操作；
▲1.**.4進(jìn)樣室標(biāo)配定位相機(jī)：可在進(jìn)樣室抽真空時(shí)對(duì)分析樣品定位，軟件設(shè)定相應(yīng)的分析方法，進(jìn)樣室真空度達(dá)到進(jìn)樣要求后可自動(dòng)傳輸至分析室實(shí)施無(wú)人值守的全自動(dòng)分析（包括自動(dòng)確定樣品最佳分析高度、全譜和高分辨譜）；
1.**.5智能互聯(lián)型操作及數(shù)據(jù)處理軟件：可以安裝在手提電腦、手機(jī)等移動(dòng)終端。通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)全球范圍內(nèi)的XPS儀器網(wǎng)絡(luò)化互聯(lián)遠(yuǎn)程控制、參數(shù)設(shè)置、儀器測(cè)試及測(cè)試數(shù)據(jù)結(jié)果的遠(yuǎn)程處理和遠(yuǎn)程提取等功能；數(shù)據(jù)處理包括定性分析、定量分析、曲線擬合等；
1.**.真空系統(tǒng)
1.**.1分析室真空系統(tǒng)
1.**.1.1腔體：μ金屬；真空泵：**0升/秒渦輪分子泵/鈦升華泵及機(jī)械泵；真空度：烘烤后優(yōu)于7×** -8 Pa（5×** -** torr）。
1.**.2進(jìn)樣室真空系統(tǒng)
1.**.2.1腔體：不銹鋼；真空泵：渦輪分子泵和機(jī)械泵；真空度：烘烤后≤7×** -7 Pa（5×** -9 torr）；
1.**.3烘烤系統(tǒng)
1.**.3.1構(gòu)成：集成于系統(tǒng)，含有控制單元，軟件控制；最高烘烤溫度：不低于**0 oC。
1.**.紫外光電子能譜（UPS）
1.**.1光源：He紫外光源；
1.**.2能量分辨和靈敏度：Ag費(fèi)米邊**%～**%≤**0meV時(shí)Ag 4d計(jì)數(shù)率≥1Mcps；
1.**.離子散射譜（ISS）
1.**.1離子源：深度剖析離子槍，使用He氣作為離子源；
1.**.2能量分辨和靈敏度：使用1keV的He+離子入射到清潔的Au表面上，Au峰的能量分辨≤**eV時(shí)其靈敏度≥**kcps/nA；
1.**.氣氛敏感樣品傳遞裝置
1.**.1制造商：與XPS主機(jī)相同品牌；
1.**.2工作方式：可抽真空，可充保護(hù)性氣體；
1.**.冷卻水系統(tǒng)
1.**.1功率不低于3kW，滿足陽(yáng)極靶、渦輪分子泵、磁透鏡和石英單色器冷卻需要；控溫范圍：**～**°C；控溫精度：±0.1°C；循環(huán)水流量：1～**升/分；
1.**.備品備件、耗材及配套輔助設(shè)備等
▲1.**.1隨機(jī)備件：保證儀器正常運(yùn)行的三年隨機(jī)備件及工具套包；
1.**.不間斷電源和隔離變壓器
1.**.1不間斷電源：保證儀器持續(xù)運(yùn)行兩小時(shí)的不間斷電源；隔離變壓器：確保儀器正常工作的外電源隔離變壓器一套。
★1.**主機(jī)配置單：
1.**.1.X射線光電子能譜儀主機(jī)：1套
1.**.2.半球采譜和成像球鏡分析器：1套
1.**.3.自動(dòng)選區(qū)光闌：1套
1.**.4.自動(dòng)選區(qū)光圈：1套
1.**.5.自動(dòng)成像分析狹縫：1套
1.**.6.進(jìn)樣室抽空套件：1套
1.**.7.進(jìn)樣室機(jī)械泵：1套
1.**.8.分析室抽空套件： 1套
1.**.9.分析室機(jī)械泵：1套
1.**.**.五軸自動(dòng)樣品臺(tái)系統(tǒng)：1套
1.**.**.高倍率樣品分析室顯微鏡：1套
1.**.**.自動(dòng)單色化Al/Ag雙陽(yáng)極X射線源：1套
1.**.**.多模式一體式氣體團(tuán)簇離子槍（單Ar離子槍和團(tuán)簇Ar離子槍雙模式自動(dòng)切換）：1套
1.**.**.數(shù)據(jù)處理軟件：1套
1.**.**.冷卻水增壓泵：1套
1.**.**.譜儀控制單元：1套，原廠配套，雙顯示屏；
1.**.**.數(shù)據(jù)處理單元：1套，Microsoft Windows ** 及以上正版操作系統(tǒng)；≥雙**核CPU；CUDA-enabled 3D GPU；≥**TB硬盤容量；≥**8GB內(nèi)存；RAID-5可刻錄式光驅(qū)；≥**寸顯示屏；
1.**.**.全自動(dòng)進(jìn)樣器：1套，包含：全自動(dòng)進(jìn)樣器（含三個(gè)樣品盤全自動(dòng)連續(xù)進(jìn)樣樣品臺(tái)及機(jī)械臂、進(jìn)樣室垂直觀察定位相機(jī)）；
1.**.**.紫外光電子能譜（UPS）套件：1套
1.**.**.離子散射譜（ISS）套件：1套
1.**.**.氣氛敏感樣品傳輸器 1套
1.**.**.原廠備用消耗品，包含但不限于：
1.**.**.1單色雙陽(yáng)極燈絲套件：1套
1.**.**.2荷電中和燈絲套件：1套
1.**.**.3離子槍燈絲套件：1套
1.**.**.4各種無(wú)氧銅墊圈：1套
1.**.**.5工具套包：1套
1.**.**.外圍輔助設(shè)備： 冷卻循環(huán)水：1臺(tái)
1.**.**.不間斷電源和（含隔離變壓器）：1臺(tái)
1.**.**.彩色打印復(fù)印一體機(jī)1臺(tái)，支持彩色打印、復(fù)印和掃描功能，端口支持USB、Wifi端口及以太網(wǎng)。
（二）液相樣品檢測(cè)單元
2.1 等離子體進(jìn)樣系統(tǒng)
★2.1.1 ICP觀測(cè)方向：雙向觀測(cè)
★2.1.2 炬管方向：豎直向上放置
2.1.3 霧室：旋流霧室。
2.1.4 霧化器：高霧化效率同心型霧化器
2.2 氣體控制系統(tǒng)
2.2.1等離子體氣、輔助氣、載氣均需質(zhì)量流量計(jì)控制，流量范圍：等離子氣：8~**L/min，輔助氣：0.5~2L/min，載氣：0~2L/min
2.2.2 氬氣純度≥**.**%時(shí)，可完成設(shè)備驗(yàn)收，并長(zhǎng)期穩(wěn)定工作。
●2.2.3 節(jié)氣模式：等離子體氣最低流量可小于5.5L/min。
2.2.4 深紫外區(qū)測(cè)定：P、S、I等元素深紫外區(qū)譜線測(cè)定無(wú)需吹掃光室，無(wú)吹掃等待和吹掃氣體消耗。
2.3 RF高頻發(fā)生器
●2.3.1 RF功率：最大功率≥1.5KW
2.3.2 焦距：≥**0mm
2.3.3 波長(zhǎng)范圍：**0nm至**0nm
2.3.4光室控溫精度±0.5℃，冷開機(jī)**分鐘即可測(cè)定，P、S、B、Al等深紫外區(qū)譜線。
2.3.5其它
震蕩形式：晶體控制震蕩自激式
頻率：≥**.**MHz
輸出穩(wěn)定性：±0.1%之內(nèi)
光學(xué)系統(tǒng)：中階梯光柵分光器
分辨率：≤0.**7nm（**0nm處）
色散元件：中階梯光柵 **條/mm，石英棱鏡，二維交叉色散。
象散校正：配備施密特鏡，校正象散，檢測(cè)器四周聚焦同樣清晰。
波長(zhǎng)校正: 利用氣體中C，N，Ar等3種以上元素發(fā)射譜線校正波長(zhǎng)，無(wú)需額外光源和校準(zhǔn)溶液。
2.4 檢測(cè)器
●2.4.1 裝置：CCD（電荷耦合器件）檢測(cè)器，儀器工作范圍全波段測(cè)定僅需一次曝光。紫外區(qū)不采用隨使用衰減的磷涂層。
2.4.2 分析速度：每條測(cè)量譜線的積分時(shí)間≥**秒設(shè)定下，每分鐘測(cè)定**個(gè)以上元素或譜線；
2.4.3 內(nèi)標(biāo)校正曝光方式：同時(shí)的內(nèi)標(biāo)校正，即內(nèi)標(biāo)元素和測(cè)量元素必須同時(shí)曝光；
2.4.4 檢測(cè)器像素：≥****×****像素
2.4.5 檢測(cè)器面積：≥1英寸
2.4.6 檢測(cè)器半導(dǎo)體冷卻裝置至-**℃即可，無(wú)需更低。開機(jī)**分鐘內(nèi)即可從室溫降至穩(wěn)定工作溫度。關(guān)機(jī)前無(wú)需吹掃，可直接關(guān)機(jī)。
2.5 工作站軟件
2.5.1 基本功能
2.5.1.1定性分析：用于建立在儀器內(nèi)數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行分析
2.5.1.2對(duì)每件樣品應(yīng)用校正基本數(shù)據(jù)，自動(dòng)選擇波長(zhǎng)
2.5.1.3定量分析：工作曲線法/標(biāo)準(zhǔn)加入法
2.5.1.4對(duì)每個(gè)元素設(shè)置若干波長(zhǎng)，對(duì)每個(gè)樣品自動(dòng)選擇波長(zhǎng)，軟件內(nèi)置譜線數(shù)據(jù)庫(kù)大于******條。
●2.5.2 用戶可任意添加自定義波長(zhǎng)。
★2.6 儀器配置
2.6.1電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀 1套
2.6.2標(biāo)準(zhǔn)附件（包括但不低于霧化器、旋流霧室、矩管） 1套
2.6.3工作站軟件（包括譜線數(shù)據(jù)庫(kù)） 1套
2.6.4氬氣調(diào)節(jié)閥 2套
2.6.5兩年備件及消耗品（包含泵油、霧化器、矩管等） 1套
2.6.6冷卻循環(huán)水 1套
2.6.7 **L高純氬氣及鋼瓶 2套
2.6.8臺(tái)式電腦（Microsoft Windows ** 及以上正版操作系統(tǒng)，CPU I5，2.5GHZ或以上，內(nèi)存4G或以上，硬盤1T或以上，顯示器≥**寸） 1套
2.6.9彩色品牌打印復(fù)印一體機(jī)（支持彩色打印、復(fù)印和掃描功能，端口支持USB、Wifi端口及以太網(wǎng)） 1套
★2.7本液相樣品檢測(cè)單元設(shè)備須為國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品
（三）電化學(xué)分析單元
★3.1 儀器采用電隔離和浮地技術(shù)，完全實(shí)現(xiàn)電絕緣。
3.2 儀器采用兩種補(bǔ)償方式：電流截?cái)嗪驼答乮R補(bǔ)償。
3.3 電極聯(lián)接模式：2、3、4或5電極體系。
3.4 最大輸出電流范圍≥±**0mA。
3.5 最大輸出電壓范圍≥±**V；電位分辨率≤1μV。
3.6 電流精度≤±**pA，電流范圍值≤±0.3%。
★3.7 電流分辨率≤**aA。
3.8 電流范圍：**0mA—**0fA，電流檔位范圍：≥**檔（內(nèi)部**X和**0X增益）。
3.9 槽壓范圍≥±**V。
●3.** EIS頻率范圍：**μHz-5MHz。包括恒電位、恒電流、混合控制模式?？墒褂脝我徽也y(cè)量，也可利用多重正弦波進(jìn)行快速EIS的測(cè)量。
3.** 交流振幅范圍：最大3V，**0mA。
★3.** 電化學(xué)測(cè)試分析軟件包，采用友好界面和功能強(qiáng)大的電化學(xué)數(shù)據(jù)采集和分析軟件，支持第三方軟件，支持用戶自己編輯程序進(jìn)行序列測(cè)試。包括：直流腐蝕腐蝕測(cè)試過(guò)程中所有標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試技術(shù)軟件包；模擬Tafel常數(shù)和腐蝕速率軟件包；臨界點(diǎn)蝕溫度ASTM標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試軟件包；EIS電化學(xué)交流阻抗譜軟件包；直流物理電化學(xué)研究軟件包；電化學(xué)噪聲軟件包；脈沖伏安標(biāo)準(zhǔn)和可定制的脈沖實(shí)驗(yàn)電化學(xué)軟件包；電化學(xué)能源軟件包；電化學(xué)信號(hào)的獲取和分析軟件包；電化學(xué)數(shù)據(jù)分析軟件包。
3.** 小信號(hào)上升時(shí)間：＜**0ns
3.** 本底噪音：＜2μV rms。
●3.** 輸入電阻：≥** ** Ω。
★3.** 擴(kuò)展功能（以下要求須給出詳細(xì)技術(shù)說(shuō)明響應(yīng)）：
3.**.1可連接臨界點(diǎn)蝕溫度測(cè)試裝置進(jìn)行臨界點(diǎn)蝕測(cè)試測(cè)試；
3.**.2可連接拉曼光譜做光譜電化學(xué)測(cè)試。
3.** 預(yù)留后續(xù)升級(jí)多通道接口及配套引線，方便后續(xù)升級(jí)多通道。
★3.**儀器配置
3.**.1 高精度電化學(xué)工作站主機(jī) 一臺(tái)
3.**.2 預(yù)留后續(xù)多通道升級(jí)引線、電極引線、USB連接線 一套
3.**.3 模擬電化學(xué)池、儀器自檢標(biāo)準(zhǔn)線路板 一套
3.**.4 電源線、適配器 一套
3.**.5 自檢用屏蔽盒 一個(gè)
3.**.6 腐蝕專用高溫參比電極、工作電極、對(duì)電極 一套
3.**.7 腐蝕用電解池 一個(gè)
3.**.8 配套電化學(xué)測(cè)試分析軟件 一套
（四）能譜儀及電子背散射衍射儀
4-1能譜儀
4.1 探測(cè)器：
●4.1.1分析型SDD硅漂移電制冷探測(cè)器，有效面積≥**mm 2
●4.1.2高分子超薄窗設(shè)計(jì)
●4.1.3無(wú)需液氮冷卻，僅消耗電能。
4.2 能量分辨率：Mn Ka≤**9eV（@計(jì)數(shù)率**0,**0cps）；以上探測(cè)器能量分辨率保證符合ISO ****2:****標(biāo)準(zhǔn)。
●4.3元素分析范圍：大于等于Be 4 ～Cf ** 。
4.4具備零峰修正功能，可以快速穩(wěn)定譜峰，開機(jī)后無(wú)需重新修正峰位。
4.5具備元素面分布實(shí)時(shí)功能：在樣品臺(tái)靜止?fàn)顟B(tài)、移動(dòng)及改變放大倍數(shù)時(shí)，均可實(shí)時(shí)顯示電子圖像、不同元素分布以及它們的疊加圖。樣品停止移動(dòng)時(shí)，自動(dòng)開啟面分布圖靜態(tài)采集模式，得到更高清晰度的面分布圖?？衫密浖刂茦悠放_(tái)移動(dòng)及改變放大倍數(shù)。
4.6定性分析：可自動(dòng)標(biāo)識(shí)譜峰，可進(jìn)行譜重構(gòu)。
4.7除具備KLM全譜線系數(shù)據(jù)庫(kù)外，還配置**kV及5kV高低電壓定量數(shù)據(jù)庫(kù)，可覆蓋不同電壓下的定量分析。同時(shí)，用戶可利用微束分析標(biāo)樣建立相應(yīng)元素的數(shù)據(jù)庫(kù)，進(jìn)行有標(biāo)樣定量分析。
4.8電子圖像分辨率≥*********像素；元素面分布圖分辨率≥*********像素；可從面分布圖上進(jìn)行點(diǎn)、線譜圖重建。
★4.9配置自動(dòng)剝離重疊峰的軟件。
4-2電子背散射衍射儀
4.**高速低噪音CMOS相機(jī)，采用專門定制的光纖傳導(dǎo)系統(tǒng)，分辨率≥*********，并能夠與各主流型號(hào)的電鏡良好配合。
●4.** EBSD在線解析最高標(biāo)定速度≥**0pps，此時(shí)花樣分辨率為**1***6；
●4.**取向精度≤0.1度；
4.**采用主動(dòng)式防碰撞傳感器設(shè)計(jì)，在碰撞發(fā)生前探測(cè)器自動(dòng)預(yù)警并后撤，起到保護(hù)EBSD作用；
4.**探測(cè)器插入退出，最快速度≥**mm/s，精度≤**μm；
4.**軟件配置
4.**.1操作軟件采用多任務(wù)設(shè)計(jì)，可以同時(shí)并行數(shù)個(gè)任務(wù)，并支持分屏顯示及遠(yuǎn)程控制；
★4.**.2操作軟件完全與能譜儀軟件一體化，可根據(jù)能譜數(shù)據(jù)對(duì)EBSD花樣進(jìn)行預(yù)過(guò)濾，實(shí)現(xiàn)對(duì)未知相的相鑒定，實(shí)現(xiàn)能譜EBSD同時(shí)聯(lián)機(jī)分析且不降速；
4.**.3電子圖像分辨率≥*********，EBSD面分布圖分辨率≥*********；
●4.**.4動(dòng)態(tài)自動(dòng)背景扣除技術(shù)，探測(cè)器參數(shù)自動(dòng)優(yōu)化。切換樣品、更換分析位置、以及EBSD探測(cè)器伸縮、傾轉(zhuǎn)后均無(wú)需重新扣除動(dòng)態(tài)背景或重新優(yōu)化；
4.**.5能對(duì)所有對(duì)稱性（從三斜到立方）晶體材料的EBSP花樣進(jìn)行自動(dòng)化的標(biāo)定，且各相的反射面可以獨(dú)立選擇，可利用衍射帶邊緣或中間進(jìn)行識(shí)別。可識(shí)別菊池帶寬度以區(qū)分晶體結(jié)構(gòu)相似的相。
4.**.6配置ICSD海量晶體學(xué)數(shù)據(jù)庫(kù)，數(shù)據(jù)容量不小于5萬(wàn)種；
4.**.7采用最優(yōu)化的Hough變換，多條帶標(biāo)定方法（最多可以用**條菊池帶進(jìn)行標(biāo)定），根據(jù)平均角度偏差MAD等進(jìn)行完全自動(dòng)化的菊池帶識(shí)別和花樣標(biāo)定；
4.**.8配有專用的高精度標(biāo)定模式，實(shí)現(xiàn)更高角度分辨率的標(biāo)定；配有**位EBSD數(shù)據(jù)后處理軟件包，和采集軟件同一風(fēng)格，支持**種語(yǔ)言界面，可處理包含多至****萬(wàn)像素的單個(gè)文件，包含且不限于如下功能：（1）數(shù)據(jù)修飾（2）晶粒統(tǒng)計(jì)（尺寸、形態(tài)等）（3）晶界分析（4）應(yīng)變分析（5）極圖和反極圖（6）校準(zhǔn)EBSD分析時(shí)由于漂移導(dǎo)致的與電子圖像產(chǎn)生的失真；
●4.**配置TKD專用模式及TKD樣品臺(tái)1個(gè)。
★4.**配置EBSD數(shù)據(jù)離線處理軟件（加密狗）1個(gè)。
（五）其它配套要求
★5.1包含實(shí)驗(yàn)室合規(guī)性改造安裝所需輔材、電源更改及人工等直至安裝調(diào)試完成所需的一切內(nèi)容。包括3間面積**m 2 和2間面積**m 2 實(shí)驗(yàn)室（總計(jì)5間實(shí)驗(yàn)室，面積**2 m 2 ）墻體、地面、強(qiáng)電、弱電及通風(fēng)改造，并配置總面積不小于**m 2 的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)臺(tái)（**0mm高）。
★5.2 XPS主機(jī)需要配置空調(diào)1臺(tái)（≥3匹）、除濕機(jī)1臺(tái)及滿足產(chǎn)品安裝要求的其它設(shè)施，采購(gòu)方僅提供具有水源和電源的房間。
合同履行期限：合同簽訂后的**0日內(nèi)將所投產(chǎn)品運(yùn)抵交貨地點(diǎn)并安裝調(diào)試完畢。
需落實(shí)的政府采購(gòu)政策內(nèi)容：中小企業(yè)；監(jiān)獄企業(yè)；殘疾人福利性單位；節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品；列入《創(chuàng)新產(chǎn)品和服務(wù)目錄》內(nèi)的產(chǎn)品、服務(wù)等政府采購(gòu)相關(guān)政策。
3.本項(xiàng)目的特定資格要求：射線裝置設(shè)備的經(jīng)銷商或制造商應(yīng)具有有效的《輻射安全許可證》或《放射性同位素與射線裝置豁免備案表》
參加遼寧省政府采購(gòu)活動(dòng)的供應(yīng)商未進(jìn)入遼寧省政府采購(gòu)供應(yīng)商庫(kù)的，請(qǐng)?jiān)旈嗊|寧政府采購(gòu)網(wǎng) “首頁(yè)—政策法規(guī)”中公布的“政府采購(gòu)供應(yīng)商入庫(kù)”的相關(guān)規(guī)定，及時(shí)辦理入庫(kù)登記手續(xù)。填寫單位名稱、統(tǒng)一社會(huì)信用代碼和聯(lián)系人等簡(jiǎn)要信息，由系統(tǒng)自動(dòng)開通賬號(hào)后，即可參與政府采購(gòu)活動(dòng)。具體規(guī)定詳見(jiàn)《關(guān)于進(jìn)一步優(yōu)化遼寧省政府采購(gòu)供應(yīng)商入庫(kù)程序的通知》（遼財(cái)采函〔****〕**8號(hào)）。
時(shí)間：****年**月**日**時(shí)**分至****年**月**日**時(shí)**分（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）
地點(diǎn)：遼寧政府采購(gòu)網(wǎng)電子評(píng)審系統(tǒng)上傳提交電子文件。備份文件遞交至遼寧工程招標(biāo)有限公司開標(biāo)樓會(huì)議室（沈陽(yáng)市和平區(qū)南九馬路**號(hào)）
供應(yīng)商認(rèn)為自己的權(quán)益受到損害的，可以在知道或者應(yīng)知其權(quán)益受到損害之日起七個(gè)工作日內(nèi)，向采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)或采購(gòu)人提出質(zhì)疑。
2、質(zhì)疑函內(nèi)容、格式：應(yīng)符合《政府采購(gòu)質(zhì)疑和投訴辦法》相關(guān)規(guī)定和財(cái)政部制定的《政府采購(gòu)質(zhì)疑函范本》格式，詳見(jiàn)遼寧政府采購(gòu)網(wǎng)。
質(zhì)疑供應(yīng)商對(duì)采購(gòu)人、采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)的答復(fù)不滿意，或者采購(gòu)人、采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)未在規(guī)定時(shí)間內(nèi)作出答復(fù)的，可以在答復(fù)期滿后**個(gè)工作日內(nèi)向本級(jí)財(cái)政部門提起投訴。
1.本項(xiàng)目采用全流程電子招投標(biāo)，參與本項(xiàng)目的供應(yīng)商須自行辦理好CA鎖，供應(yīng)商除在電子評(píng)審系統(tǒng)上傳響應(yīng)文件外，應(yīng)在遞交響應(yīng)文件截止時(shí)間前提交按采購(gòu)文件規(guī)定的介質(zhì)形式（U盤）存儲(chǔ)的可加密備份文件，并承諾備份文件與電子評(píng)審系統(tǒng)中上傳的響應(yīng)文件內(nèi)容、格式一致，備系統(tǒng)突發(fā)故障使用。供應(yīng)商僅提交備份文件的，投標(biāo)無(wú)效。詳見(jiàn)遼寧政府采購(gòu)網(wǎng)《關(guān)于完善政府采購(gòu)電子評(píng)審業(yè)務(wù)流程等有關(guān)事項(xiàng)的通知》 遼財(cái)采函{****} **3號(hào)。 2.供應(yīng)商自行準(zhǔn)備電子設(shè)備確保能夠自行報(bào)價(jià)及解密。
